Stredofrekvenčný naprašovací zdroj série MSB

Stručný opis:

Séria MSB sa spolieha na svoju vynikajúcu technológiu modulácie tvaru vlny na výstup jednosmerného prúdu, jednosmerného impulzu, obojsmernej štvorcovej vlny, obojsmernej lichobežníkovej vlny a iných tvarov vlny.Produkt má nastaviteľný výstupný tvar vlny, voliteľnú výstupnú frekvenciu, nastaviteľný pracovný cyklus a presné ovládanie výkonu.Rovnako ako nízke ukladanie energie a rýchla odozva oblúka.Poskytnite pohodlné a presné ovládanie procesu poťahovania.Výrobky sa používajú hlavne v rôznych procesoch výroby tenkých vrstiev, v priemysle solárnych článkov a v priemysle vákuového lakovania;aplikačné procesy: magnetrónový naprašovací proces, dvojitý terčový naprašovanie a tubulárny PECVD.

Detail produktu

Štítky produktu

Pošlite nám e-mail

Vlastnosti

Racková inštalácia
Rýchla odozva oblúka, čas odozvy <100ns
Nízka akumulácia energie, <0,5 mJ/KW
Technológia PFC s viacerými fázami, účinník je až 0,95
Je možné zvoliť rôzne výstupné režimy, nepretržité a prerušované režimy
Invertorový obvod využíva plnú technológiu mäkkého prepínania a ako napájacie zariadenie používa polovodičový SiC tretej generácie s vynikajúcou účinnosťou
Presná detekcia oblúka, dostupné viaceré metódy monitorovania