Regulátor výkonu série TPM5
-
Regulátor výkonu série TPM5
Riadiaca jednotka výkonu série TPM5 využíva myšlienku modulárneho dizajnu a integruje až 6 obvodov. Produkty sa používajú hlavne v difúznych peciach, PECVD, epitaxných peciach atď.