Zhody série RMA
-
Zhody série RMA
Dá sa prispôsobiť napájaniu RF radom RLS a široko sa používa pri plazmovom leptaní, povlakovaní, plazmovom čistení, plazmovom odgumovaní a iných procesoch. Pri samostatnom použití sa môže používať spolu s RF napájacími zdrojmi iných výrobcov.