Napájací zdroj série RHH

Stručný popis:

RF napájacie zdroje série RHH sa spoliehajú na vyspelé technológie generovania RF, aby zákazníkom poskytli RF napájanie s vyšším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou. S možnosťou nastavenia fázy, ovládania impulzov, digitálneho ladenia a ďalších funkcií. Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel plochých displejov, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratóriá, vedecký výskum, výroba atď.
Použiteľné procesy: plazmovo vylepšená chemická depozícia z pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.

Detaily produktu

Značky produktov

Pošlite nám e-mail

Funkcie

● Prevedenia do polovice a do racku
● Prijmite plne digitálne ovládanie s pohodlným a bohatým ovládacím menu
● Funkcie ladenia frekvencie, impulzov a synchronizácie impulzov
● S funkciou fázovej synchronizácie CEX
● Dokonalá ochranná funkcia

Detaily produktu

Vstup	Vstupné napätie: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (špeciálne špecifikácie je možné prispôsobiť)
Vstup	Vstupná frekvencia: 47~63Hz
Výstup	Výstupná frekvencia: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rozsah ladenia: ±5%
	Výstupný výkon: 1,5~5 kW
	Rozsah regulácie výstupného výkonu: 1~100%
	Výstupná impedancia: 50Ω+j0
	Výstupné rozhranie: typ N
	Výstupný režim: kontinuálny, impulzný
	Pulzná frekvencia: 100 Hz ~ 100 kHz
	Pracovný cyklus: 5~95%
Index výkonnosti	Účinník: 0,98
	Presnosť frekvenčnej stability: ±0,005%
	Účinnosť: 75 % (pri menovitom výkone)
	Harmonické: <-45dBc
	Rozptýlené: <-50dBc
	Externé riadiace rozhranie: analógová veličina, komunikácia a synchronizácia
	Komunikačný režim: Štandardné komunikačné rozhranie RS485; Voliteľné Ether CAT, priemyselný Ethernet atď.
Poznámka: Produkt sa neustále vylepšuje a jeho výkon sa neustále zlepšuje. Tento popis parametrov slúži len na referenčné účely.