RF napájací zdroj série RHH
-
RF napájací zdroj série RHH
RF napájací zdroj série RHH sa spolieha na vyspelú technológiu RF generovania, aby zákazníkom poskytol RF napájanie s väčším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou.S fázou je možné nastaviť, pulzne ovládať, digitálne ladenie a ďalšie funkcie.Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel s plochými panelmi, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratórium, vedecký výskum, výroba atď.
Použiteľné procesy: plazmové nanášanie chemických pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.