RF napájanie
-
RF napájací zdroj série RLS
RF napájací zdroj série RLS využíva súčasný stabilný a spoľahlivý výkonový zosilňovač a hlavný DC riadiaci systém spoločnosti, takže produkt má veľmi stabilný výkon a vysokú spoľahlivosť produktu. Prijať čínske a anglické rozhranie displeja, jednoduché ovládanie. Používa sa hlavne vo fotovoltaickom priemysle, priemysle plochých displejov, polovodičovom priemysle, chemickom priemysle, laboratóriu, vedeckom výskume, výrobe atď.
-
Matchers série RMA
Môže byť prispôsobený na napájanie RF série RLS a je široko používaný pri plazmovom leptaní, lakovaní, čistení plazmou, plazmovom odgumovaní a iných procesoch. Ak sa používa samostatne, môže byť použitý spolu s RF zdrojmi iných výrobcov.
-
RF napájací zdroj série RHH
RF napájací zdroj série RHH sa spolieha na vyspelú technológiu RF generovania, aby zákazníkom poskytol RF napájanie s väčším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou. S fázou je možné nastaviť, pulzne ovládať, digitálne ladenie a ďalšie funkcie. Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel s plochými panelmi, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratórium, vedecký výskum, výroba atď.
Použiteľné procesy: plazmové nanášanie chemických pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.