Stredofrekvenčný naprašovací zdroj série MSB

Stručný opis:

RF napájací zdroj série RHH sa spolieha na vyspelú technológiu RF generovania, aby zákazníkom poskytol RF napájanie s väčším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou.S fázou je možné nastaviť, pulzne ovládať, digitálne ladenie a ďalšie funkcie.Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel plochých displejov, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratórium, vedecký výskum, výroba atď.

Použiteľné procesy: plazmové nanášanie chemických pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.

Detail produktu

Štítky produktu

Pošlite nám e-mail

Vlastnosti

● Štýly montáže do polovice tehly a stojana

● Prijmite úplné digitálne ovládanie s pohodlnou a bohatou prevádzkovou ponukou

● Funkcie frekvenčného ladenia, pulzu a pulznej synchronizácie

● S funkciou synchronizácie fázy CEX

● Dokonalá ochranná funkcia

Detail produktu

Vstup	Vstupné napätie: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(špeciálne špecifikácie je možné prispôsobiť)
Vstup	Vstupná frekvencia: 47~63Hz
Výkon	Výstupná frekvencia: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rozsah ladenia: ±5%
	Výstupný výkon: 1,5~5kW
	Regulačný rozsah výstupného výkonu: 1~100%
	Výstupná impedancia: 50Ω+j0
	Výstupné rozhranie: typ N
	Výstupný režim: nepretržitý, pulzný
	Pulzná frekvencia: 100Hz~100kHz
	Pracovný cyklus: 5~95%
Výkonnostný index	Účinník: 0,98
	Presnosť stability frekvencie: ±0,005%
	Účinnosť: 75% (pri menovitom výkone)
	Harmonické: ＜-45dBc
	Zatúlanosť: ＜-50dBc
	Externé ovládacie rozhranie: analógové množstvo, komunikácia a synchronizácia
	Komunikačný režim: Štandardné komunikačné rozhranie RS485;Voliteľný Ether CAT, priemyselný Ethernet atď.
Poznámka: Produkt sa neustále inovuje a výkon sa neustále zlepšuje.Tento popis parametra je len orientačný.