Mikrovlnný výkon
-
Mikrovlnný zdroj
Mikrovlnný spínaný zdroj je nový typ mikrovlnného napájacieho zdroja založený na technológii vysokofrekvenčného meniča IGBT. Integruje anódový vysokonapäťový zdroj, vláknový zdroj a zdroj magnetického poľa (okrem 3kW mikrovlnného zdroja). Vlnový magnetrón poskytuje pracovné podmienky. Tento produkt sa používa v MPCVD, mikrovlnnom plazmovom leptaní, mikrovlnnom plazmovom odgumovaní a iných oblastiach.