Výpoveď
Získajte prehľad a urýchlite proces vývoja.
Spoločnosť Advanced Energy dodáva riešenia napájania a riadenia pre kritické aplikácie nanášania tenkých vrstiev a geometrie zariadení. Naše riešenia pre presnú konverziu energie vám umožňujú optimalizovať presnosť výkonu, precíznosť, rýchlosť a opakovateľnosť procesu, aby ste vyriešili problémy so spracovaním doštičiek.
Ponúkame širokú škálu RF frekvencií, jednosmerných napájacích systémov, prispôsobených úrovní výstupného výkonu, prispôsobovacích technológií a riešení monitorovania teploty optickými vláknami, ktoré vám skutočne umožnia lepšie kontrolovať procesnú plazmu. Integrujeme tiež Fast DAQ™ a náš balík na zber a prístupnosť údajov, aby sme poskytli prehľad o procese a urýchlili proces vývoja.
Získajte viac informácií o našich procesoch výroby polovodičov a nájdite riešenie, ktoré vyhovuje vašim potrebám.
Vaša výzva
Od fólií používaných na vytváranie vzorov rozmerov integrovaných obvodov cez vodivé a izolačné fólie (elektrické štruktúry) až po kovové fólie (prepojenie), vaše procesy nanášania vyžadujú kontrolu na atómovej úrovni – nielen pre každý prvok, ale v rámci celého doštičky.
Okrem samotnej štruktúry musia byť vaše nanesené filmy vysokej kvality. Musia mať požadovanú štruktúru zŕn, rovnomernosť a konformnú hrúbku a musia byť bez dutín – a to okrem toho, že musia poskytovať požadované mechanické namáhanie (tlakové a ťahové) a elektrické vlastnosti.
Zložitosť sa neustále zvyšuje. Aby sa riešili obmedzenia litografie (uzly s rozmermi menšími ako 1X nm), techniky samozarovnávacieho dvojitého a štvornásobného vzorovania vyžadujú, aby váš proces nanášania vytvoril a reprodukoval vzor na každom doštičke.
Naše riešenie
Pri nasadzovaní najdôležitejších depozičných aplikácií a geometrií zariadení potrebujete spoľahlivého lídra na trhu.
Technológia dodávania vysokofrekvenčného výkonu a vysokorýchlostného prispôsobovania od spoločnosti Advanced Energy vám umožňuje prispôsobiť a optimalizovať presnosť výkonu, precíznosť, rýchlosť a opakovateľnosť procesu potrebnú pre všetky pokročilé procesy nanášania PECVD a PEALD.
Využite našu technológiu generátora jednosmerného prúdu na jemné doladenie konfigurovateľnej odozvy oblúka, presnosti výkonu, rýchlosti a opakovateľnosti procesu, ktoré sú potrebné pre procesy PVD (naprašovanie) a ECD.
Výhody
● Zvýšená stabilita plazmy a opakovateľnosť procesu zvyšujú výťažok
● Presné dodávanie RF a DC s plne digitálnym riadením pomáha optimalizovať efektivitu procesu
● Rýchla reakcia na zmeny plazmy a riadenie oblúka
● Viacúrovňové pulzovanie s adaptívnym ladením frekvencie zlepšuje selektivitu rýchlosti leptania
● Globálna podpora k dispozícii na zabezpečenie maximálnej prevádzkyschopnosti a výkonu produktu